高效过滤系统:广州坤灵洁净棚配备了先进的 HEPA(高效空气过滤器)或 ULPA(超高效空气过滤器),过滤效率可达 99.99% 以上(针对 0.3μm 颗粒)9。这能确保送入洁净棚内的空气几乎不含尘埃粒子和微生物,为半导体生产提供了洁净的气源。

良好的气流组织:采用单向流(垂直 / 水平层流)设计,气流均匀覆盖工作区,能快速带走污染物9。以垂直层流为例,空气从顶部高效过滤器垂直向下均匀流动,像一道 “空气瀑布”,将尘埃粒子等污染物不断带向地面的回风口,使工作区域始终处于高度洁净状态。
精准的环境控制:除了空气净化,洁净棚还能集成静电消除装置和精密的温度、湿度控制系统6。半导体生产对静电非常敏感,静电可能会吸附尘埃粒子或对芯片造成静电损伤,而精确的温湿度控制可防止产品因热胀冷缩、受潮或干燥等因素出现变形、性能不稳定等问题。
灵活的模块化设计:广州坤灵的洁净棚采用模块化设计,可以根据半导体车间的不同生产流程和空间布局,灵活调整大小和形状6。这种设计便于安装、移动和重新组合,能够快速适应新的生产工艺和设备布局的变化。
光刻区域:光刻是半导体芯片制造中的关键工艺,对洁净度要求极高。洁净棚为光刻设备提供了局部的超高洁净环境,有效防止尘埃粒子对光刻图案的干扰,确保芯片图形的精度和质量。
芯片封装区域:在芯片封装过程中,需要避免微生物和尘埃的污染,以保证封装的可靠性和芯片的长期稳定性。洁净棚为封装操作提供了洁净的空间,降低了封装过程中的污染风险。
高精度检测区域:在半导体芯片的检测环节,需要在洁净的环境中进行,以避免尘埃粒子等污染物对检测结果的干扰。洁净棚为检测设备和操作人员提供了洁净的工作环境,提高了检测的准确性和可靠性。



